Satu set bahagian mikroskop elektron
Sumber elektron: Ia adalah katod yang membebaskan elektron bebas, dan anod berbentuk cincin mempercepatkan elektron. Perbezaan voltan antara katod dan anod mestilah sangat tinggi, biasanya antara beberapa ribu volt dan tiga juta volt.
Elektron: Digunakan untuk memfokus elektron. Secara amnya, kanta magnet digunakan, dan kadangkala kanta elektrostatik juga digunakan. Fungsi kanta elektron adalah sama seperti kanta optik dalam mikroskop optik. Fokus kanta optik adalah tetap, tetapi fokus kanta elektronik boleh dilaraskan, jadi mikroskop elektron tidak mempunyai sistem kanta alih seperti mikroskop optik.
Peranti vakum: Peranti vakum digunakan untuk memastikan keadaan vakum di dalam mikroskop, supaya elektron tidak akan diserap atau terpesong pada laluannya.
Pemegang sampel: Sampel boleh diletakkan pada pemegang sampel secara stabil. Di samping itu, selalunya terdapat peranti yang boleh digunakan untuk menukar sampel (seperti menggerakkan, berputar, memanaskan, menyejukkan, memanjangkan, dll.).
Pengesan: Isyarat atau isyarat sekunder yang digunakan untuk mengumpul elektron. Unjuran sampel boleh diperoleh secara terus dengan menggunakan mikroskop elektron penghantaran (Transmission Electron Microscopy TEM). Elektron melalui sampel dalam mikroskop ini, jadi sampel mestilah sangat nipis. Berat atom bagi atom yang membentuk sampel, voltan di mana elektron dipercepatkan, dan resolusi yang dikehendaki menentukan ketebalan sampel. Ketebalan sampel boleh berbeza dari beberapa nanometer hingga beberapa mikrometer. Semakin tinggi jisim atom dan semakin rendah voltan, semakin nipis sampel mestilah.
Dengan menukar sistem kanta objektif, seseorang boleh terus membesarkan imej pada titik fokus objektif. Daripada ini seseorang boleh mendapatkan imej pembelauan elektron. Menggunakan imej ini, struktur kristal sampel boleh dianalisis.
Dalam Energy Filtered Transmission Electron Microscopy (EFTEM), orang mengukur perubahan dalam kelajuan elektron semasa mereka melalui sampel. Daripada ini, komposisi kimia sampel boleh disimpulkan, seperti taburan unsur kimia dalam sampel.
