Kelebihan Mengimbas mikroskop elektron
1. Faktor pembesaran
Oleh kerana saiz tetap skrin pendarfluor mikroskop elektron pengimbasan, perubahan dalam pembesaran dicapai dengan menukar amplitud pengimbasan pancaran elektron pada permukaan sampel.
Jika arus gegelung pengimbasan dikurangkan, amplitud pengimbasan pancaran elektron pada sampel akan berkurangan, dan faktor penguatan akan meningkat. Pelarasan ini sangat mudah, dan boleh dilaraskan secara berterusan daripada 20x kepada sekitar 200000 kali.
2. Resolusi
Resolusi ialah penunjuk prestasi utama pengimbasan mikroskop elektron.
Resolusi ditentukan oleh diameter rasuk elektron kejadian dan jenis isyarat modulasi Penentuan bersama:
Semakin kecil diameter pancaran elektron, semakin tinggi resolusinya.
Isyarat fizikal yang digunakan untuk pengimejan berbeza dalam resolusi.
Sebagai contoh, elektron SE dan BE mempunyai julat dan resolusi pelepasan yang berbeza pada permukaan sampel. Peleraian SE biasanya sekitar 5-10nm, manakala peleraian BE ialah sekitar 50-200nm.
3. Kedalaman medan
Ia merujuk kepada julat keupayaan kanta untuk memfokus dan imej pelbagai bahagian sampel yang tidak sekata secara serentak.
Kanta akhir mikroskop elektron pengimbasan menggunakan apertur Sudut kecil dan panjang fokus yang panjang, jadi medan kedalaman yang besar boleh diperolehi. Ia adalah 100-500 kali lebih besar daripada kedalaman medan mikroskop optik am dan 10 kali lebih besar daripada kedalaman medan mikroskop elektron penghantaran.
Ciri-ciri SEM yang menonjol ialah kedalaman medan yang besar, deria tiga dimensi yang kuat, dan morfologi yang realistik.
Sampel yang digunakan untuk mengimbas mikroskop elektron dibahagikan kepada dua kategori:
1 ialah sampel dengan kekonduksian yang baik, yang secara amnya boleh mengekalkan bentuk asalnya dan boleh diperhatikan di bawah mikroskop elektron tanpa atau dengan sedikit pembersihan;
2 ialah sampel bukan konduktif, atau sampel dengan kehilangan air, pelepasan gas, atau ubah bentuk pengecutan dalam vakum, yang perlu dirawat dengan betul sebelum pemerhatian boleh dibuat.
