Kelebihan Mengimbas Mikroskopi Elektron
1. Pembesaran
Oleh kerana saiz skrin pendarfluor mikroskop elektron pengimbasan ditetapkan, perubahan pembesaran direalisasikan dengan menukar amplitud pengimbasan pancaran elektron pada permukaan sampel.
Jika arus gegelung pengimbasan dikurangkan, julat pengimbasan pancaran elektron pada sampel akan berkurangan dan pembesaran akan ditingkatkan. Pelarasan ini sangat mudah, dan ia boleh dilaraskan secara berterusan daripada 20 kali kepada kira-kira 200,000 kali.
2. Resolusi
Resolusi ialah indeks prestasi utama SEM.
Resolusi ditentukan oleh diameter rasuk elektron kejadian dan jenis isyarat modulasi:
Semakin kecil diameter pancaran elektron, semakin tinggi resolusinya.
Isyarat fizikal yang berbeza yang digunakan untuk pengimejan mempunyai resolusi yang berbeza.
Sebagai contoh, elektron SE dan BE mempunyai julat pelepasan yang berbeza pada permukaan sampel, dan resolusinya berbeza. Secara amnya, peleraian SE ialah kira-kira 5-10 nm, dan peleraian BE ialah kira-kira 50-200 nm.
3. Kedalaman Medan
Ia merujuk kepada julat keupayaan yang boleh difokuskan dan imej kanta serentak pada pelbagai bahagian sampel dengan ketidaksamaan.
Kanta akhir mikroskop elektron pengimbasan menggunakan sudut bukaan kecil dan panjang fokus yang panjang, jadi kedalaman medan yang besar boleh diperolehi, iaitu 100-500 kali lebih besar daripada mikroskop optik umum dan 10 kali lebih besar daripada iaitu mikroskop elektron penghantaran.
Kedalaman medan yang besar, deria tiga dimensi yang kuat dan bentuk yang realistik adalah ciri-ciri cemerlang SEM.
Spesimen untuk SEM dibahagikan kepada dua kategori:
1 ialah sampel dengan kekonduksian yang baik, yang secara amnya boleh mengekalkan bentuk asalnya dan boleh diperhatikan dalam mikroskop elektron tanpa atau dengan sedikit pembersihan;
2. Sampel bukan konduktif, atau sampel yang kehilangan air, gas keluar, mengecut dan berubah bentuk dalam vakum, perlu dirawat dengan betul sebelum ia boleh diperhatikan.
