Pengenalan kepada ciri prestasi mikroskop elektron pengimbasan
Terdapat pelbagai jenis mikroskop elektron pengimbasan, dan pelbagai jenis mikroskop elektron pengimbasan mempunyai prestasi yang berbeza. Mengikut jenis senapang elektron, ia boleh dibahagikan kepada tiga jenis: senapang elektron pelepasan medan, senapang dawai tungsten dan lanthanum hexaboride [5]. Antaranya, mikroskop elektron pengimbasan pelepasan medan boleh dibahagikan kepada mikroskop elektron pengimbasan pelepasan medan sejuk dan mikroskop elektron pengimbasan pelepasan medan haba mengikut prestasi sumber cahaya. Mikroskop elektron pengimbasan pelepasan medan sejuk memerlukan keadaan vakum yang tinggi, arus rasuk tidak stabil, pemancar mempunyai hayat perkhidmatan yang pendek, dan hujung jarum perlu dibersihkan dengan kerap, yang terhad kepada pemerhatian imej tunggal, dan julat aplikasi adalah terhad; manakala mikroskop elektron pengimbasan pelepasan medan haba bukan sahaja berterusan Ia boleh berfungsi untuk masa yang lama, dan ia juga boleh digabungkan dengan pelbagai aksesori untuk mencapai analisis yang komprehensif. Dalam bidang geologi, kita bukan sahaja perlu memerhati morfologi awal sampel, tetapi juga perlu menganalisis sifat sampel lain dalam kombinasi dengan penganalisis, jadi mikroskop elektron pengimbasan pelepasan medan haba lebih banyak digunakan.
Mengimbas mikroskop elektron (SEM) ialah instrumen ketepatan yang besar untuk analisis morfologi domain mikro resolusi tinggi. Ia mempunyai ciri-ciri kedalaman medan yang besar, resolusi tinggi, pengimejan intuitif, kesan stereoskopik yang kuat, julat pembesaran yang luas, dan sampel yang akan diuji boleh diputar dan dicondongkan dalam ruang tiga dimensi. Di samping itu, ia mempunyai kelebihan pelbagai jenis sampel yang boleh diukur, hampir tiada kerosakan dan pencemaran sampel asal, dan pemerolehan serentak morfologi, struktur, komposisi, dan maklumat kristalografi. Pada masa ini, mikroskopi elektron pengimbasan telah digunakan secara meluas dalam penyelidikan mikroskopik dalam bidang sains hayat, fizik, kimia, keadilan, sains bumi, sains bahan, dan pengeluaran perindustrian. , Sedimentologi, Geokimia, Gemologi, Mikropaleontologi, Astrogeologi, Geologi Minyak dan Gas, Geologi Kejuruteraan dan Geologi Struktur, dsb.
Walaupun mikroskop elektron pengimbasan adalah bintang yang semakin meningkat dalam keluarga mikroskop, kerana banyak kelebihannya, kelajuan pembangunan adalah sangat pantas.
1. Resolusi instrumen adalah agak tinggi, dan butiran kira-kira 6nm pada permukaan sampel boleh diperhatikan melalui imej elektron sekunder, yang boleh dipertingkatkan lagi kepada 3nm dengan menggunakan pistol elektron LaB6.
2 Pembesaran instrumen mempunyai julat yang luas dan boleh dilaraskan secara berterusan. Oleh itu, bidang pandangan yang berbeza boleh dipilih untuk pemerhatian mengikut keperluan, dan pada masa yang sama, imej yang jelas dengan kecerahan tinggi, yang sukar dicapai dengan mikroskop elektron penghantaran am, juga boleh diperoleh di bawah pembesaran tinggi.
3 Memerhati sampel mempunyai medan kedalaman yang besar, medan pandangan yang besar, dan imej penuh dengan tiga dimensi. Ia boleh memerhati secara langsung permukaan kasar dengan beralun besar dan imej patah logam tidak sekata sampel, yang membuatkan orang berasa seperti berada di dunia mikroskopik.
4. Penyediaan sampel adalah mudah. Selagi sampel blok atau serbuk sedikit diproses atau tidak diproses, ia boleh terus diletakkan di dalam mikroskop elektron pengimbasan untuk pemerhatian, jadi ia lebih dekat dengan keadaan semula jadi bahan.
5 Ia boleh mengawal dan meningkatkan kualiti imej dengan berkesan melalui kaedah elektronik, seperti penyelenggaraan automatik kecerahan dan kontras, pembetulan sudut kecondongan sampel, putaran imej, atau meningkatkan toleransi kontras imej melalui modulasi Y, dan kecerahan dan kegelapan pelbagai bahagian. daripada imej Sederhana. Menggunakan peranti pembesaran dua kali atau pemilih imej, imej dengan pembesaran berbeza boleh diperhatikan pada skrin pendarfluor pada masa yang sama.
6 untuk analisis komprehensif. Pasang spektrometer sinar-X penyebaran panjang gelombang (WDX) atau spektrometer sinar-X penyebaran tenaga (EDX) supaya ia mempunyai fungsi probe elektron dan juga boleh mengesan elektron yang dipantulkan, sinar-X, katodofluoresensi, elektron yang dihantar, elektronik Auger dsb. Memperluaskan aplikasi mikroskopi elektron pengimbasan kepada pelbagai kaedah analisis mikroskopik dan kawasan mikro menunjukkan kepelbagaian mikroskopi elektron pengimbasan. Selain itu, ia juga boleh menganalisis kawasan mikro pilihan sampel sambil memerhati imej topografi; pasang aksesori pemegang sampel semikonduktor, dan perhatikan terus persimpangan PN dan kecacatan mikroskopik dalam transistor atau litar bersepadu melalui penguat imej daya gerak elektrik. Memandangkan banyak probe elektronik mikroskop elektron pengimbasan telah merealisasikan kawalan automatik dan separa automatik komputer elektronik, kelajuan analisis kuantitatif telah bertambah baik.
