Kaedah Pengukuran Pampasan Suhu Salutan Tolok Ketebalan
Kaedah pengukuran pampasan suhu bagi tolok ketebalan salutan termasuk langkah-langkah penentukuran pekali suhu, penentukuran sifar kuasa dan pengukuran ketebalan, dan akhirnya mengira nilai ketebalan salutan sebenar dx; menggunakan korelasi antara perubahan medan elektromagnet gegelung kearuhan dan suhu, iaitu, dalam Nilai pada hujung infiniti diukur sekali semasa proses pengukuran, dan pekali perubahan suhu pada hujung infiniti adalah berkadar dengan pekali perubahan suhu. apabila probe pengukur berada berhampiran dengan substrat objek yang diukur untuk pengukuran. Menggunakan ciri ini untuk merealisasikan pampasan suhu boleh mengurangkan ralat pengukuran suhu sebanyak mungkin. Ralat pengukuran kaedah ini pada asasnya boleh dikawal dalam 1 peratus, manakala standard kebangsaan semasa kami memerlukan dalam 3 peratus. Sebagai perbandingan, ralat pengukuran kaedah ini boleh dikawal dalam 1 peratus . Ketepatan pengukuran telah mencapai ketepatan pengukuran mesin jenama antarabangsa, dan ia masih pada tahap yang sangat tinggi di China.
