Berbanding dengan mikroskop optik tradisional dan mikroskop elektron, apakah faktor yang mengehadkan kuasa penyelesaian mikroskop daya atom?
Kuasa penyelesaian mikroskop optik tradisional dihadkan oleh had pembelauan cahaya, dan jarak penyelesaian minimumnya ialah separuh daripada panjang gelombang cahayanya. Kuasa penyelesaian mikroskop elektron juga dihadkan oleh had pembelauan, dan kuasa penyelesaian minimumnya ialah separuh daripada panjang gelombang elektron de Broglie, jadi mikroskop elektron boleh mencapai kuasa penyelesaian yang lebih tinggi daripada mikroskop optik tradisional.
Kuasa penyelesaian mikroskop daya atom bergantung terutamanya pada: saiz hujung probe; pekali anjal mikro-cantilever, semakin rendah pekali anjal, semakin sensitif mikroskop daya atom; nisbah panjang julur kepada panjang cahaya laser; kepekaan pengesan JPA kepada kedudukan spot . Untuk imej dengan resolusi tertentu, lebih kecil julat imbasan, lebih halus topografi permukaan yang diperolehi.
