Mikroskop elektron mempunyai beberapa bahagian
Mikroskop elektron terdiri daripada tiga bahagian: tong kanta, peranti vakum dan kabinet bekalan kuasa.
1. Tong kanta terutamanya termasuk sumber elektron, kanta elektron, pemegang sampel, skrin pendarfluor dan pengesan. Komponen ini biasanya dipasang ke dalam silinder dari atas ke bawah.
Kanta elektron digunakan untuk memfokus elektron dan merupakan komponen terpenting dalam laras mikroskop elektron. Secara amnya, kanta magnet digunakan, dan kadangkala kanta elektrostatik juga digunakan.
2. Peranti vakum digunakan untuk memastikan keadaan vakum dalam mikroskop, supaya elektron tidak akan diserap atau terpesong pada laluannya. Ia terdiri daripada pam vakum mekanikal, pam resapan, dan injap vakum, dan disambungkan ke tong kanta melalui paip ekzos.
3. Kabinet kuasa terdiri daripada penjana voltan tinggi, penstabil arus pengujaan dan pelbagai unit kawalan pelarasan.






