Memperkenalkan Mikroskop Daya Atom Automatik Tidak Seperti Sebelum Ini
Sistem mikroskop kuasa atom automatik NX-3DM yang dilancarkan oleh Park Systems direka khas untuk kontur tidak terjual, pengimejan dinding sisi resolusi tinggi dan pengukuran sudut kritikal. Dengan sistem pengimbasan bebas paksi-XY dan paksi-Z yang unik serta pengimbas paksi Z yang menyengetkan, NX-3DM berjaya mengatasi cabaran yang ditimbulkan oleh kepala biasa dan berkilat dalam analisis dinding sisi yang tepat. Dalam mod True Non-Contact™, NX-3DM mendayakan pengukuran tidak merosakkan fotoresist lembut dengan petua nisbah aspek yang tinggi.
ketepatan yang tidak pernah berlaku sebelum ini
Apabila semikonduktor semakin kecil, reka bentuk kini perlu berada pada skala nano, tetapi alat pengukuran tradisional tidak dapat memberikan ketepatan yang diperlukan untuk reka bentuk dan pembuatan skala nano. Menghadapi cabaran pengukuran industri ini, Park AFM telah membuat banyak penemuan teknologi, seperti penghapusan crosstalk, yang boleh mencapai pengimejan tanpa artifak dan tidak merosakkan; AFM 3D baharu memungkinkan pengimejan beresolusi tinggi bagi dinding sisi dan ciri potongan kecil.
daya pengeluaran yang tidak pernah berlaku sebelum ini
Disebabkan oleh had daya pemprosesan yang rendah, reka bentuk skala nano tidak boleh digunakan dalam kawalan kualiti pengeluaran, tetapi mikroskopi daya atom menjadikannya mungkin. Dengan penyelesaian tinggi yang dikeluarkan oleh Park Systems, mikroskopi daya atom juga telah memasuki bidang pembuatan dalam talian automatik. Ini termasuk ciri penggantian kuar magnet yang inovatif dengan kadar kejayaan 99 peratus, lebih tinggi daripada teknologi vakum konvensional. Di samping itu, pengoptimuman proses dan pemprosesan memerlukan kerjasama aktif pelanggan untuk menyediakan data mentah yang lengkap.
Keberkesanan kos yang tidak pernah berlaku sebelum ini
Ketepatan dan daya pemprosesan tinggi bagi pengukuran skala nano perlu dipadankan dengan penyelesaian kos efektif untuk skala daripada penyelidikan kepada aplikasi pengeluaran dunia sebenar. Menghadapi cabaran kos ini, Park Systems telah membawa penyelesaian mikroskop tenaga atom gred industri untuk membuat pengukuran automatik lebih cepat dan lebih cekap, serta menjadikan probe lebih tahan lama! Kami telah melepaskan mikroskop elektron pengimbasan yang perlahan dan mahal dan beralih kepada mikroskop daya atom 3D yang cekap, automatik dan berpatutan untuk mengurangkan lagi kos pengukuran pembuatan industri dalam talian. Hari ini, pengeluar memerlukan maklumat 3D untuk mencirikan profil parit dan variasi dinding sisi untuk mengesan kecacatan dalam reka bentuk baharu dengan tepat. Platform AFM modular membolehkan penggantian perkakasan dan perisian pantas, menjadikan peningkatan lebih menjimatkan kos dan terus mengoptimumkan pengukuran kawalan kualiti pengeluaran yang kompleks dan menuntut. Selain itu, siasatan AFM kami bertahan sekurang-kurangnya 2 kali lebih lama, seterusnya mengurangkan kos pemilikan. AFM tradisional menggunakan pengimbasan mengetik, yang menjadikan hujung lebih mudah haus dan lusuh, tetapi mod True Non-Contact™ kami boleh melindungi hujung dan memanjangkan hayatnya dengan berkesan.
