Mengimbas mod kerja Mikroskop Elektron Terowong
Walaupun pengimbasan mikroskop elektron terowong mempunyai konfigurasi yang berbeza, semuanya terdiri daripada tiga bahagian utama berikut: sistem mekanikal (cermin) yang memacu probe dalam gerakan tiga dimensi berbanding permukaan spesimen konduktif, sistem elektronik yang mengawal dan memantau jarak antara probe dan spesimen, dan sistem paparan yang menukar data yang diukur kepada imej. Ia mempunyai dua mod operasi: mod arus malar dan mod ketinggian malar.
Mod Semasa Malar
Arus terowong dikawal menggunakan satu set litar maklum balas elektronik untuk memastikan ia tetap. Sistem komputer mengawal pengimbasan hujung jarum pada permukaan sampel, iaitu, hujungnya bergerak dalam dua dimensi sepanjang arah x dan y. Oleh kerana arus terowong dikawal untuk malar, ketinggian tempatan antara hujung dan permukaan sampel juga dikekalkan malar, dan dengan itu hujung akan membuat gerakan beralun yang sama dengan ketinggian permukaan sampel, dan maklumat ketinggian akan dicerminkan Akibatnya. Ini bermakna mikroskop elektron pengimbasan terowong memperoleh maklumat tiga dimensi mengenai permukaan sampel. Mod operasi ini digunakan secara meluas kerana maklumat imejnya yang komprehensif dan kualiti imej mikroskopik yang tinggi.
Mod Ketinggian Malar
Dalam proses pengimbasan sampel untuk mengekalkan ketinggian mutlak hujung jarum pemalar; jadi hujung jarum dan permukaan sampel jarak setempat akan berubah, saiz arus terowong saya juga berubah; melalui komputer untuk merekodkan perubahan dalam arus terowong, dan ditukar kepada isyarat imej yang dipaparkan, iaitu, untuk mendapatkan gambar mikroskop terowong pengimbasan mikroskop elektron. Cara kerja ini hanya terpakai pada permukaan sampel yang agak rata, dan komposisi satu komponen.
