Komponen utama mikroskop elektron ialah:
Sumber elektron: katod yang membebaskan elektron bebas dan anod berbentuk cincin yang mempercepatkan elektron. Perbezaan voltan antara katod dan anod mestilah sangat tinggi, biasanya antara beberapa ribu dan 3 juta volt.
Elektron: digunakan untuk memfokuskan elektron. Biasanya kanta magnet digunakan, kadangkala kanta elektrostatik digunakan. Kanta elektron bertindak dengan cara yang sama seperti kanta optik dalam mikroskop optik. Fokus kanta optik adalah tetap, manakala fokus kanta elektron boleh dilaraskan, jadi mikroskop elektron tidak mempunyai sistem kanta alih seperti mikroskop optik.
Unit vakum: Unit vakum digunakan untuk memastikan vakum di dalam mikroskop supaya elektron tidak diserap atau terpesong di laluannya.
Pemegang Sampel: Sampel boleh distabilkan dalam pemegang sampel. Di samping itu, selalunya terdapat peranti yang boleh digunakan untuk mengubah sampel (cth gerakkan, putar, haba, sejukkan, regangan, dll.).
Pengesan: Digunakan untuk mengumpul isyarat atau isyarat sekunder daripada elektron. Jenis menggunakan mikroskop elektron penghantaran
Mikroskop (TransmissionElectronMicroscopyTEM) adalah mungkin untuk mendapatkan unjuran langsung sampel. Dalam jenis mikroskop elektron ini melalui sampel, jadi sampel mestilah sangat nipis. Berat atom bagi atom yang membentuk sampel, voltan di mana elektron dipercepatkan, dan resolusi yang dikehendaki menentukan ketebalan sampel. Ketebalan sampel boleh berbeza dari beberapa nanometer hingga beberapa mikron. Semakin tinggi berat atom dan semakin rendah voltan, semakin nipis sampel mestilah.
Dengan menukar sistem kanta kanta objektif seseorang boleh terus membesarkan imej pada titik fokus kanta objektif. Ini membolehkan seseorang mendapatkan imej difraksi elektron.
imej pembelauan. Menggunakan imej ini, struktur kristal sampel boleh dianalisis.
Dalam Mikroskopi Elektron Transmisi Penapis Tenaga (EFTEM) seseorang mengukur perubahan kelajuan elektron semasa ia melalui sampel. Daripada ini adalah mungkin untuk menyimpulkan komposisi kimia sampel, seperti taburan unsur kimia dalam sampel.
