Kaedah Pengukuran Ketebalan Mikroskop Pengimbasan Ultrasonik
Cara Mikroskop Pengimbasan Ultrasonik Berfungsi
Gambar rajah blok sistem mikroskop pengimbasan ultrasonik ditunjukkan. Penerima pemancar ultrasonik menjana denyutan ultrasonik pada frekuensi tertentu (5 MHz hingga 2 GHz), dan mencapai sampel melalui medium gandingan (seperti air ternyahion, alkohol, dsb.). Memandangkan penghantaran tenaga ultrasonik memerlukan medium yang berterusan, antara muka terputus seperti liang, kekotoran, delaminasi, retak, dan lain-lain akan mengganggu perambatan isyarat ultrasonik atau menyebabkan pantulan isyarat ultrasonik. Apabila isyarat ultrasonik melalui sampel, disebabkan oleh perbezaan impedans akustik bahan yang berbeza, gelombang yang dipantulkan akan muncul pada antara muka dengan kecacatan atau ikatan yang lemah. Isyarat gema pantulan yang diterima oleh transduser ultrasonik dihantar ke kad pemerolehan data A/D melalui penerima pemancar ultrasonik, dan isyarat gema diproses dan dipaparkan pada skrin dalam bentuk gelombang. Imej dalaman peranti yang sepadan dengan bentuk gelombang juga boleh dipaparkan pada antara muka operasi. Sistem gerakan tiga paksi membawa transduser ultrasonik untuk mengimbas peranti yang diuji pada kelajuan tinggi, dan akhirnya memperoleh imej ultrasonik resolusi tinggi antara muka yang sepadan.
Prinsip Pengukuran Ketebalan Ultrasonik
Kekerapan gelombang ultrasonik adalah tinggi, kearaharah yang baik, dan kelajuan bunyi dalam medium homogen adalah sama. Apabila nadi ultrasonik yang dihasilkan oleh transduser ultrasonik mencapai objek yang diukur melalui agen gandingan, sebahagian daripada isyarat ultrasonik menembusi objek yang diukur, dan bahagian lain isyarat ultrasonik dipantulkan oleh permukaan bawah objek. Transduser ultrasonik menerima gema yang dipantulkan oleh permukaan bawah lapisan yang diukur, mengira dengan tepat masa perjalanan pergi balik gelombang ultrasonik, dan mengira nilai ketebalan mengikut formula 1. Daripada kelajuan penghantaran ultrasonik bahan konvensional dalam Jadual 1, beberapa data kelajuan yang biasa digunakan boleh didapati.
Kaedah pengukuran ketebalan ultrasonik
Gambar rajah skema bentuk gelombang ultrasonik menunjukkan hubungan yang sepadan antara gelombang ultrasonik dan laluannya melalui peranti. Daripada itu, kunci kepada kaedah pengukuran ketebalan adalah untuk mencari bentuk gelombang lapisan ketebalan yang diminati, tetapkan pintu permukaan hadapan peranti, dan tetapkan pintu data dalam lapisan ketebalan minat. Dalam perisian Smartscan Mikroskop Pengimbasan Ultrasonik, kuncinya ialah cara menentukan ketebalan peranti dan lapisan yang diminati.
