Untuk meningkatkan resolusi, iaitu mengurangkan nilai σ, bagaimana
(1) Kurangkan nilai panjang gelombang λ dan gunakan sumber cahaya panjang gelombang pendek.
(2) Tingkatkan nilai n sederhana untuk meningkatkan nilai NA (NA=nsinu/2).
(3) Tingkatkan nilai sudut apertur u untuk meningkatkan nilai NA.
(4) Tingkatkan kontras antara terang dan gelap.
