Prinsip Pengimejan Mikroskop Elektron Penghantaran
Rasuk elektron mikroskop elektron pengimbasan tidak melalui sampel, tetapi memfokuskan pada kawasan kecil sampel sebanyak mungkin, dan kemudian mengimbas sampel baris demi baris. Elektron kejadian merangsang elektron sekunder pada permukaan sampel. Mikroskop memerhatikan elektron yang bertaburan dari setiap titik. Kristal kilauan yang diletakkan di sebelah sampel menerima elektron sekunder ini, dan memodulasi keamatan pancaran elektron tiub gambar selepas penguatan, dengan itu menukar kecerahan skrin pendarfluor tiub gambar. Imej ialah perwakilan tiga dimensi yang mencerminkan struktur permukaan spesimen. Gegelung pesongan tiub sinar katod diimbas secara serentak dengan pancaran elektron pada permukaan sampel, supaya skrin pendarfluor tiub sinar katod memaparkan imej morfologi permukaan sampel, yang serupa dengan prinsip kerja industri. televisyen. Disebabkan oleh fakta bahawa elektron dalam mikroskop sedemikian tidak perlu menghantar melalui sampel, voltan yang diperlukan untuk pecutan elektron tidak perlu terlalu tinggi.
Resolusi mikroskop elektron pengimbasan ditentukan terutamanya oleh diameter pancaran elektron pada permukaan sampel. Pembesaran ialah nisbah amplitud pengimbasan pada tiub sinar katod kepada amplitud pengimbasan pada sampel, yang boleh berubah secara berterusan dari puluhan kali hingga ratusan ribu kali. Mengimbas mikroskop elektron tidak memerlukan sampel yang sangat nipis; Imej mempunyai deria tiga dimensi yang kuat; Ia boleh menganalisis komposisi bahan menggunakan maklumat seperti elektron sekunder, elektron yang diserap, dan sinar-X yang dihasilkan oleh interaksi antara pancaran elektron dan bahan.
Pengilangan mikroskop elektron pengimbasan adalah berdasarkan interaksi antara elektron dan jirim. Apabila pancaran elektron bertenaga tinggi mengebom permukaan bahan, kawasan teruja akan menghasilkan elektron sekunder, elektron Auger, sinar-X ciri dan sinar-X spektrum berterusan, elektron berselerak belakang, elektron yang dihantar, serta sinaran elektromagnet dalam yang boleh dilihat. , ultraungu dan kawasan inframerah. Pada masa yang sama, pasangan lubang elektron, getaran kekisi (fonon), dan ayunan elektron (plasma) juga boleh dijana.
