Apakah faktor yang memberi kesan ke atas resolusi mikroskop elektron penghantaran?
A. Diameter titik pancaran elektron kejadian: had kuasa penyelesaian SEM. Secara amnya, diameter titik minimum senapang elektron katod panas boleh dikurangkan kepada 6nm, dan senapang elektron pelepasan medan boleh menjadikan diameter titik kurang daripada 3nm.
B. Kesan pengembangan rasuk elektron tuju dalam sampel: tahap resapan bergantung pada tenaga elektron rasuk kejadian dan nombor atom sampel. Semakin tinggi tenaga pancaran kejadian dan semakin rendah nombor atom sampel, semakin besar isipadu pancaran elektron, semakin besar kawasan isyarat yang dihasilkan dengan resapan pancaran elektron, sekali gus mengurangkan resolusi.
C. kaedah pengimejan dan isyarat modulasi yang digunakan: apabila isyarat modulasi elektron sekunder, kerana tenaga yang rendah (kurang daripada 50 eV), julat bebas purata adalah pendek (10 ~ 100 nm atau lebih), hanya dalam lapisan permukaan julat kedalaman 50 ~ 100 nm elektron sekunder boleh melarikan diri dari permukaan sampel, kejadian bilangan penyerakan adalah sangat terhad, pada dasarnya tidak berkembang secara sisi, jadi resolusi imej elektron sekunder adalah lebih kurang sama dengan rasuk. diameter titik. Apabila elektron berselerak belakang digunakan sebagai isyarat modulasi, elektron berselerak belakang boleh melarikan diri dari kawasan sampel yang lebih dalam (kira-kira 30% daripada kedalaman berkesan) kerana tenaga tinggi dan keupayaan penembusannya. Dalam julat kedalaman ini, elektron kejadian adalah pengembangan sisi yang agak luas, jadi resolusi imej elektron berselerak belakang adalah lebih rendah daripada imej elektron sekunder, secara amnya dalam 500 ~ 2000nm atau lebih. Jika penyerapan elektron, sinar-X, cathodoluminescence, konduktans penderiaan rasuk atau potensi sebagai isyarat modulasi mod operasi lain, disebabkan oleh isyarat dari seluruh kawasan penyebaran rasuk elektron, imej pengimbasan yang terhasil bagi resolusi adalah agak rendah, secara amnya dalam l,000 nm atau l,000 nm atau lebih daripada berbeza.
