Jenis dan Ciri Pengimbasan Mikroskop Elektron
Terdapat pelbagai jenis mikroskop elektron pengimbasan, dan pelbagai jenis mikroskop elektron pengimbasan mempunyai perbezaan prestasi. Menurut jenis pistol elektron, ia boleh dibahagikan kepada tiga jenis: pistol elektron pelepasan lapangan, pistol dawai tungsten, dan lanthanum hexaboride. Antaranya, mikroskopi elektron pengimbasan pelepasan medan boleh dibahagikan kepada mikroskopi elektron pengimbasan pelepasan medan sejuk dan mikroskopi pengimbasan pelepasan medan panas berdasarkan prestasi sumber cahaya. Mikroskopi pengimbasan pelepasan medan sejuk memerlukan keadaan vakum yang tinggi, arus rasuk yang tidak stabil, jangka hayat pemancar pendek, dan memerlukan pembersihan tetap tip jarum, yang terhad kepada pemerhatian imej tunggal dan mempunyai julat aplikasi yang terhad; Mikroskop elektron pengimbasan medan haba bukan sahaja mempunyai masa kerja yang berterusan, tetapi juga boleh digabungkan dengan pelbagai aksesori untuk mencapai analisis yang komprehensif. Dalam bidang geologi, kita bukan sahaja perlu memerhatikan morfologi awal sampel, tetapi juga perlu menganalisis sifat -sifat lain sampel dalam kombinasi dengan penganalisis, jadi penerapan mikroskop elektron pengimbasan medan haba lebih luas.
Walaupun mengimbas mikroskopi elektron adalah pendatang baru dalam keluarga mikroskop, kelajuan pembangunannya sangat cepat kerana banyak kelebihannya.
Instrumen ini mempunyai resolusi yang tinggi dan dapat melihat butir -butir kira -kira 6nm pada permukaan sampel melalui pengimejan elektron sekunder. Dengan menggunakan pistol elektron LAB6, ia boleh diperbaiki lagi kepada 3nm.
Instrumen ini mempunyai pelbagai perubahan pembesaran dan boleh diselaraskan secara berterusan. Oleh itu, pelbagai saiz bidang pandangan boleh dipilih untuk pemerhatian seperti yang diperlukan, dan imej yang jelas dengan kecerahan yang tinggi yang sukar dicapai dengan mikroskopi elektron penghantaran umum juga boleh didapati pada pembesaran yang tinggi.
Kedalaman bidang dan bidang pandangan sampel adalah besar, dan imejnya kaya dengan rasa tiga dimensi. Ia secara langsung dapat memerhatikan permukaan kasar dengan undulation yang besar dan imej patah logam yang tidak sekata dari sampel, memberikan orang rasa hadir di dunia mikroskopik.
Penyediaan 4 sampel adalah mudah. Selagi sampel blok atau serbuk sedikit dirawat atau tidak dirawat, mereka boleh diperhatikan secara langsung di bawah mikroskop elektron pengimbasan, yang lebih dekat dengan keadaan semula jadi bahan tersebut.
5. Kualiti imej boleh dikawal dengan berkesan dan diperbaiki melalui kaedah elektronik, seperti penyelenggaraan kecerahan dan kontras automatik, pembetulan sudut kecondongan sampel, putaran imej, atau peningkatan toleransi kontras imej melalui modulasi Y, serta kecerahan dan kegelapan sederhana di pelbagai bahagian imej. Dengan menggunakan peranti pembesaran dwi atau pemilih imej, imej dengan pembesaran yang berbeza dapat dilihat secara serentak pada skrin pendarfluor.
6 boleh dikenakan analisis komprehensif. Pasang spektrometer sinar-X penyebaran panjang gelombang (WDX) atau spektrometer sinar-X dispersif tenaga (EDX) untuk membolehkannya berfungsi sebagai probe elektron dan mengesan elektron yang dicerminkan, x-ray, cathodoluminescence, elektron yang dihantar, elektron auger, dan lain-lain. Memperluas aplikasi pengimbasan mikroskopi elektron ke pelbagai kaedah analisis mikroskopik dan mikro telah menunjukkan pelbagai fungsi pengimbasan mikroskopi elektron. Di samping itu, ia juga mungkin untuk menganalisis kawasan mikro yang dipilih sampel semasa memerhatikan imej morfologi; Dengan memasang lampiran pemegang sampel semikonduktor, persimpangan PN dan kecacatan mikro dalam transistor atau litar bersepadu boleh diperhatikan secara langsung melalui penguat imej daya elektromotif. Oleh kerana pelaksanaan kawalan komputer automatik dan separuh automatik komputer untuk banyak probe elektron mikroskop elektron, kelajuan analisis kuantitatif telah bertambah baik.
