Apakah faktor yang mempengaruhi resolusi mikroskop elektron penghantaran?
A. Diameter titik pancaran elektron kejadian: ia adalah had kuasa penyelesaian mikroskop elektron pengimbasan. Secara amnya, diameter titik rasuk minimum senapang elektron katod panas boleh dikurangkan kepada 6nm, dan senapang elektron pelepasan medan boleh menjadikan diameter titik rasuk lebih kecil daripada 3nm.
B. Kesan pengembangan rasuk elektron tuju dalam sampel: tahap resapan bergantung pada tenaga elektron rasuk tuju dan nombor atom sampel. Semakin tinggi tenaga rasuk kejadian, lebih kecil nombor atom sampel, lebih besar isipadu rasuk elektron, dan kawasan di mana isyarat dijana meningkat dengan penyebaran rasuk elektron, dengan itu mengurangkan resolusi.
C. Kaedah pengimejan dan isyarat modulasi digunakan: apabila elektron sekunder digunakan sebagai isyarat modulasi, disebabkan tenaganya yang rendah (kurang daripada 50 eV) dan laluan bebas min pendek (kira-kira 10-100 nm), hanya lapisan permukaan daripada 50-100 nm Elektron sekunder dalam julat kedalaman hanya boleh terlepas dari permukaan sampel, dan bilangan serakan berlaku adalah sangat terhad, dan pada dasarnya tidak mengembang secara sisi. Oleh itu, resolusi imej elektron sekunder adalah lebih kurang sama dengan diameter tempat pancaran. Apabila elektron serakan belakang digunakan sebagai isyarat modulasi, tenaga elektron serakan belakang adalah agak tinggi dan keupayaan penembusan adalah kuat, jadi mereka boleh melarikan diri dari kawasan yang lebih dalam dalam sampel (kira-kira 30 peratus daripada kedalaman berkesan). Dalam julat kedalaman ini, elektron tuju mempunyai pengembangan sisi yang agak luas, jadi resolusi imej elektron terserak belakang adalah lebih rendah daripada imej elektron sekunder, secara amnya sekitar 500-2000nm. Jika mod operasi lain seperti penyerapan elektron, sinar-X, katodofluoresensi, konduktans teraruh rasuk atau potensi digunakan sebagai isyarat modulasi, memandangkan isyarat datang dari seluruh kawasan penyerakan rasuk elektron, resolusi imej pengimbasan yang diperoleh adalah agak rendah. , umumnya pada l 000 nm Atau di atas l0000nm.
