Apakah prinsip kerja Mengimbas mikroskop elektron?
Disebabkan oleh fakta bahawa mikroskop elektron penghantaran digunakan untuk pengimejan TE, adalah perlu untuk memastikan bahawa ketebalan sampel berada dalam julat saiz yang boleh ditembusi oleh rasuk elektron. Untuk mencapai matlamat ini, pelbagai kaedah penyediaan sampel yang rumit diperlukan untuk mengubah sampel bersaiz besar ke tahap yang boleh diterima untuk mikroskop elektron penghantaran.
Matlamat yang dikejar oleh saintis adalah untuk menggunakan secara langsung sifat bahan bahan permukaan sampel untuk pengimejan mikroskopik.
Melalui usaha, idea ini telah menjadi kenyataan - Mengimbas mikroskop elektron (SEM).
SEM - Instrumen optik elektron yang mengimbas permukaan sampel yang diperhatikan dengan rasuk elektron yang sangat nipis, mengumpul satu siri maklumat elektronik yang dihasilkan oleh interaksi antara rasuk elektron dan sampel, dan imej selepas penukaran dan penguatan. Ia adalah alat yang bermanfaat untuk mengkaji struktur permukaan tiga dimensi.
Prinsip kerjanya ialah:
Dalam tiub kanta vakum tinggi, pancaran elektron yang dihasilkan oleh senapang elektron difokuskan ke dalam pancaran halus oleh kanta penumpuan elektron, dan kemudian mengimbas dan mengebom permukaan sampel titik demi titik untuk menjana satu siri maklumat elektronik (Elektron sekunder, belakang elektron pantulan, elektron penghantaran, elektron serapan, dll.). Pengesan menerima pelbagai isyarat elektronik, menguatkannya dengan penguat elektronik, dan kemudian memasukkannya ke dalam tiub gambar yang dikawal oleh grid tiub gambar.
Apabila mengimbas permukaan sampel dengan rasuk elektron terfokus, disebabkan oleh sifat fizikal dan kimia yang berbeza, potensi permukaan, komposisi unsur, dan morfologi cembung cembung permukaan pada bahagian sampel yang berlainan, maklumat elektronik teruja oleh rasuk elektron adalah berbeza, mengakibatkan perubahan berterusan keamatan pancaran elektron tiub pengimejan. Akhir sekali, imej yang sepadan dengan struktur permukaan sampel boleh diperolehi pada skrin pendarfluor tiub pengimejan. Mengikut isyarat elektronik berbeza yang diterima oleh pengesan, imej elektron berselerak belakang, imej elektron sekunder dan imej elektron serapan sampel boleh diperolehi masing-masing.
Seperti yang diterangkan di atas, mikroskop elektron pengimbasan kebanyakannya mempunyai modul berikut: Modul sistem optik elektron, modul voltan tinggi, modul sistem vakum, modul pengesanan isyarat mikro, modul kawalan, modul kawalan jadual anjakan mikro, dsb.
